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關閉窗口 在生活中，時時刻刻都存在著靜電。但我們尤其關注潔凈室中的靜電，因為潔凈室內使用的很多材料是絕緣非導電的材料，很容易帶上靜電，而且潔凈室內生產的產品又大多數是對靜電敏感的產品，因此，潔凈室中需對靜電進行防護。
現在，我們先來看一下潔凈室的概念。在半導體、平面液晶顯示器、光電子和生物醫藥的生產都需要潔凈的生產車間。通常潔凈室是指空間空氣懸浮粒子濃度被控制在規定界限內的房間或限定空間，這塵埃粒子的粒徑越小和被限定的粒數越小，潔凈度便越高。
潔凈室內的靜電
①由于潔凈室的潔凈度要求，潔凈室內很多材料摩擦容易起電帶電，不易泄漏釋放。
潔凈室內材料的電壓
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材料名稱 |
電壓范圍 |
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光刻間塑料地面 |
500V~1000V |
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擴散間塑料地面 |
500V~1500V |
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瓷磚地面 |
500V~1500V |
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塑料墻紙 |
700V |
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塑料頂棚 |
OV~1000V |
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金屬活動皮椅面 |
500V~3000V |
②人穿潔凈工作服、鞋、步行或工作時，與不同物質設備器材摩擦要產生靜電，人、衣服、鞋都會帶電。
人穿尼龍衣、塑料膠底鞋緩慢地在清潔的地板上走動，人身上帶7000V~8000V靜電壓。
在乙烯基地板上行走可帶1200V（10%~20%RH）、250V（65%~90%RH）。
在地毯上行走可帶35000V（10%~20%RH）、1500V（65%~90%RH）。
晶片裝配線，人穿的工作服可達10KV。
③大量的絕緣器材、裝備和工具，也是重要的靜電電荷源。
④空調氣流經過初效過濾器、中效過濾器、高效過濾器、凈化出口氣流是帶靜電的。
總之：潔凈室的潔凈度要求越高，靜電帶電的現象就可能越嚴重,對靜電的防護要求也相應地越高。